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| 美国联邦标准209E洁净室规格 |
级 数
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粒子大小 |
粒子数目 |
压 力 |
温度 °C |
风速或
换氧率 |
照 度 |
um |
Particles/ft3 |
mmAg |
范 围 |
推荐值 |
误差值 |
次/hr |
Lux |
1 |
≧0.5 |
≦1 |
> 1.3 |
19.4～25 |
22.2 |
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1080~
1620 |
≧5.0 |
0 |
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10 |
≧0.5 |
≦10 |
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≧5.0 |
0 |
±2.8 |
100 |
≧0.5 |
≦100 |
特 |
≧5.0 |
≦1 |
殊 |
1,000 |
≧0.5 |
≦1,000 |
需 |
乱
流
方
式
≧20次/hr |
≧5.0 |
≦10 |
求 |
10,000 |
≧0.5 |
≦10,000 |
±1.4 |
≧5.0 |
≦65 |
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100,000 |
≧0.5 |
≦100,000 |
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≧5.0 |
≦700 |
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